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    CCP电容耦合 射频午夜福利试看体去胶机NE-PE13FH
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    产品简介

    射频午夜福利试看体去胶机是一种专门用于去除材料表面胶层或高分子物质的设备,其利用高频电场产生的午夜福利试看体进行化学反应,将各种高分子物质转化为易于处理的低分子物质,从而实现去胶的目的,这个工艺通常又被称为灰化工艺,射频午夜福利试看体去胶技术是一种高效、环保的去胶方法,它无需使用化学溶剂和水,可以有效避免污染和废弃物处理难题。射频午夜福利试看体去胶机通常包含射频电源、反应腔体、气体控制系统和真空系统等部分,射频电源用于产生高频电场,反应腔体是午夜福利试看体产生的场所,气体控制系统用于控制反应气体的种类和流量,真空系统则用于维持腔体内的低压环境,促进午夜福利试看体的形成和化学反应的进行,设备真空腔体里面内置若干电极板,可以用于小批量去胶,提高生产效率。

    采用气体离子化的方式来轰击去除光刻胶,保证了器件的完整性。射频午夜福利试看体去胶机适用于玻璃、金属种子层、硅片、压电陶瓷等各类衬底,通过午夜福利试看轰击不仅可以去除表面的残胶,还能活化衬底,改善其表面的亲水性能。

    产品参数

    型号NE-PE13FH
    功率0-300W可调
    午夜福利试看发生器射频13.56 MHz,自动阻抗匹配 
    腔体材质316 不锈钢
    腔体容积13.5L
    腔体尺寸240(L)*280(D)*200(H)mm
    有效处理面积205(W)×205(D)×30.5(H)mm(8寸晶圆及以下)
    处理层数3层
    气体流量控制器MFC质量流量计, 0-300ML
    气路数量2路(可增加)
    极限真空度1PA
    真空测定系统皮拉尼真空硅管 测量范围5×10 -2 ~1.0×10 5 Pa
    真空泵干泵/油泵(可选)
    控制系统PLC+触摸屏
    电源供应220V
    外形尺寸640mm(W)×665mm(D) ×580 mm(H)


    应用案例

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