产品简介
NE-Q15电感耦合午夜福利试看清洗机通过RF射频电源在石英腔体内感应诱导气体从而产生午夜福利试看体。 电感耦合午夜福利试看体即使在较低气压下也可以拥有较高的午夜福利试看体密度，可以减小午夜福利试看体源中的高能离子对基底的轰击。设备采用高纯石英玻璃作为反应腔体，腔体洁净度高，内部无电极，可以避免电极溅射造成的污染问题。
设备用途：1、清洗：去除有机物、氧化物、金属盐、纳米级微粒污染物等； 2、活化：亲疏水改性、粘接性改善、表面能提升、官能团引入、生物相容性改善等 ；3、刻蚀：表面图案化、表面微刻蚀、改变表面形貌粗糙度等； 4、键合：PDMS等微流控器件键合、晶圆键合前预处理 ；5、去胶：光刻胶灰化、扫底膜；
产品参数
| 型号 | NE-Q15 |
| 午夜福利试看发生器功率 | 0-500W连续可调 |
| 午夜福利试看发生器频率 | 13.56MHz |
| 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
| 腔体容积 | 15L |
| 腔体尺寸 | Φ250×300（D）mm |
| 工艺气体通道 | 2路，氧气、氩气等 |
| 流量计 | 50-500ml/min浮子流量计 |
| 控制方式 | PLC+10寸触摸屏 |
| 真空泵 | 干泵/油泵（可选） |
| 电源供应 | 220V |
| 外形尺寸 | 755mm(L)×880mm(W) ×1580 mm(H) |
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