产品简介
NE-Q05H小型午夜福利试看体清洗仪整套系统包括真空仓、射频发生器、真空泵以及进排气口。处理器为电容耦合外电极型，处理室为圆筒形石英玻璃。午夜福利试看体放电系统为200W高频振荡电源，电源频率13.56MHz，为了保证电源有效地供给放电功率，在电源与放电电极间配有阻抗匹配器。此设备处理器采用外电极式，即放电能量从处理器外部施加，可以避免电极的腐蚀和反应物在极板沉积的问题。
午夜福利试看清洗技术利用了低温午夜福利试看体特性使午夜福利试看体与材料表面进行接触与反应, 使被处理材料表面得到化学、物理的清洁,提高表面的润湿性,或者植入新的化学官能团以及表面蚀刻。
产品参数
| 型号 | NE-Q05H |
| 频率 | 13. 56 MHz 固态射频电源 |
| 功率 | 200W |
| 腔体材质 | 石英耐热玻璃 |
| 腔体容积 | 5L |
| 腔体尺寸（圆形） | Φ150×280（D）mm |
| 气体流量控制器 | MFC 质量流量控制器， 0-300sccm |
| 气路数量 | 2 路气体，支持氧气，氩气等（如需接入腐蚀性气体，提前告知） |
| 真空测定系统 | 皮拉尼真空硅管 |
极限真空度 | 1Pa |
| 控制方式 | PLC+4.3寸触摸屏 |
| 电源供应 | 220V |
| 外形尺寸 | 548mm(L)×588mm(W) ×617 mm(H) |
产品应用
表面亲疏水改性
提升材料表面能
改变材料表面形貌
引入特殊的官能团
PDMS键合
提高粘接性能
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